DLCコーティング

DLCコーティング

DLCコーティングの特性

DLCコーティングはダイヤモンドに類似した性質をもっており、
成膜した表面が非常に固く、滑りやすい等の特性があります。

DLCコーティングの特徴

高硬度・低摩擦係数・耐摩耗性・電気絶縁性・耐薬品性・赤外線透過性

大容量チャンバー
Ф1,600×2,500ℓ(Ф1,300×1,800㎜成膜可能)

独自の大容量チャンバーを使用する為、大型部品への成膜が可能です。
また一括大量成膜にも対応していますので、コスト削減の効果があります。
成膜方法も同時注入処理を施す事により、従来のDLCよりも密着性が高くなります。

DLC成膜の工程

成膜可能材料 成膜例
超硬 バリカンタイプ
SUS 真空ポンプローター ボルト
樹脂 ピン状 パット状
石英 石英板
噛み込み対策で成膜したボルト(左)
未成膜品(右)
変形対策で成膜したスパナ 摩耗対策で成膜したLMガイド

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