DLCコーティング
DLCコーティングの特性
DLCコーティングはダイヤモンドに類似した性質をもっており、
成膜した表面が非常に固く、滑りやすい等の特性があります。
DLCコーティングの特徴
高硬度・低摩擦係数・耐摩耗性・電気絶縁性・耐薬品性・赤外線透過性
大容量チャンバー
Ф1,600×2,500ℓ（Ф1,300×1,800㎜成膜可能）
独自の大容量チャンバーを使用する為、大型部品への成膜が可能です。
また一括大量成膜にも対応していますので、コスト削減の効果があります。
成膜方法も同時注入処理を施す事により、従来のDLCよりも密着性が高くなります。
DLC成膜の工程
| 成膜可能材料 | 成膜例 | |
| 超硬 | ◎ | バリカンタイプ |
| SUS | 〇 | 真空ポンプローター ボルト |
| 樹脂 | △ | ピン状 パット状 |
| 石英 | △ | 石英板 |
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| 噛み込み対策で成膜したボルト(左) 未成膜品(右) |
変形対策で成膜したスパナ | 摩耗対策で成膜したLMガイド |
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