無数の可能性を秘める
新しい扉を開く鍵が
ここにあります。

DLCコーティング

DLCコーティングはダイヤモンドに類似した性質をもっており、成膜した表面が非常に固くて滑りやすい等の特製があります。

■コーティングの特徴・高硬度・低摩擦係数・耐摩耗性・電気絶縁性・耐薬品性・赤外線透過性

大容量チャンバー

Ф1,600×2,500ℓ(Ф1,300×1,800㎜成膜可能)


独自の大容量チャンバーを使用する為、大型部品への成膜が可能です。
また一括大量成膜にも対応していますので、コスト削減の効果があります。
成膜方法も同時の注入処理を施す事により、従来のDLCよりも密着性が高くなります。


DLC成膜の工程

セッティング
真空引き

エッチング
ワークの表面処理

ガス注入
下地作り

ガス,電源傾斜
成膜用のガスト電圧に変更

成膜
膜作製

 

 

 

 

 

 

 

成膜工程で使用する制御パネル

 

 

 

 

 

 


異常時対応用監視システム


成膜可能材料と成膜例
成膜可能材料 成膜例
超硬 バリカンタイプ
SUS 真空ポンプローター ボルト
樹脂 ピン状 パット状
石英 石英板

樹脂や石英等の非導電性材料にも成膜出来る様、現在開発に取り組んでいます。(開発中)

 

噛み込み対策で成膜した
ボルト(左)と未成膜品(右)

変形対策で
成膜したスパナ

摩耗対策で
成膜したLMガイド