DLC Coating


■大容量チャンバーによるDLC製膜が可能

独自の大容量チャンバーを使用するため大型部品への成膜が可能です。 また、一括大量製膜にも対応しますので、コスト削減の効果があります。

チャンバー

 

■ラッピング装置キャリア

シリコンウエハラッピング装置のキャリアにDLCコーティングをすることで、長寿命化を図ることが可能です。大容量チャンバーを利用しますので、これまで不可能だった大型キャリアへのコーティングを可能にしました。

■真空ポンプローター

真空ポンプ(ルーツ式)のローター・ケーシングなどにDLCコーティングすることで、耐摩耗性の向上と回転時の摩擦軽減によるエネルギー損失の低減が可能です。
メンテナンスの手間を軽減するとともに、性能の向上に寄与することが可能です。

■その他試作用途に

低摩擦・耐摩耗・高硬度というDLCの特徴を活かした試作開発用のサンプル作成を行います。
現在、自動車部品やドリルなどで実用化が進んでいるDLCコーティングの新しいアプリケーション開発にご協力いたします。
○配管内部へのDLCコーティング
○装置摺動部品へのコーティング
○その他、潤滑油の低減、装置性能の向上、硬質化など


■DLCコーティングのお問い合わせは
  エンジニアリング事業部 営業課 
     担当:高田 <t-takata@kmtech.jp>

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